半导体废气处理设备

Local Scrubber


Local Scrubber是为集成电路、半导体显示、新能源等行业工艺制程中所产生的有毒有害副产物提供一个高效的气体处理设备,针对不同工艺副产物的化学性质和物理性质选用不同形式的处理方式 。



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